大正元年（1912年）創業の荏原製作所。公共水道施設用の巨大渦巻きポンプ製造で始まった同社の事業はいま1世紀を経て大きく成長し、冷熱、送風、給水など産業用機械の製造から環境プラントの建設管理まで幅広い領域に拡がっています。なかでも近年とくに勢いを増しているのが半導体製造装置事業。シリコンウエハーを研磨して平滑化するCMP（Chemical Mechanical Polisher）は世界市場で米国大手とトップ争いを繰り広げています。
CMP装置を生産する同社熊本事業所は、部品毎の組み立てプロセスのフローを示すBOP（Bill of Process）のプラットフォームとしてISIDの提供する工程設計ツールR-3Dを導入。さらにR-3DとPLM（Teamcenter）を連携させた製造工程管理システム（MPM：Manufacturing Process Manager）へと発展させ、3D設計情報を製造へ活用する環境を整えました。CMP装置の生産を統括する稲葉充彦生産部長は、この仕組みにより、生産準備の作業効率が向上したほか、生産現場のスキルアップや早期の製造性検証などにR-3Dが役立っていると語ります。こうした成功を支えたのはISIDの製造ソリューションチーム。そのサポートについて稲葉氏は「単なるツールの導入だけでなく、その先を見据えた活用法を提案し、成果につなげてくれた」と話しています。
※ 写真：株式会社荏原製作所 熊本事業所長/生産部長 稲葉充彦氏
